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プリアライナー

米国シリコンバレー生まれのLogosol社のプリアライナーは業界随一の製品群を持ち、数々のテストで信頼性が証明されています。

プリアライナーシリーズは、45mmから480mmまでのサイズ、透明ウェハ及び半透明ウェハを取り扱えます。 Logosol独自の一体化設計と多才なソフトウェアは、幅広い半導体装置との互換性とインターフェイスを可能にします。

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独立型シリーズ

Standalone

独立型プリアライナーは、角形・二層式含む45mm - 480mmまでのウェハを高精度でアライメントします。 一台で各種サイズのウェハを扱え、機械的な位置合わせやチャックやピンの荷重モードを変更する必要がなく、高精度オプションもご使用頂けます。

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組込型シリーズ

Embedded

安価で中心点検出や角度オリエンテーションが行える高速ウェハ搬送システムです。 45mm - 470mmウェハのアライメントが 出来、既存のあらゆるロボットとの組み合せが可能です。高精度オプション、チャックサイズ及び素材オプションをお使い頂けます。

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エッジ・チャック型シリーズ

Edge Handling

ゼログリップ力の柔軟なエッジ接触を特徴とする独立型プリアライナーです。Logospl独自の技術でウェハに応力を掛けずにクリーンに75mm - 300mmウェハを扱います。標準モデルと高精度モデルがあります。


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カスタム・シリーズ

Custom

Logosol社の幅広いプリアライナーシリーズは、シリコン、メカ設計からモーションコントロール、ソフトウェアまで全てを社内で20年に亘り一貫設計して来た技術力に支えられています。 高レベルの信頼性、機能、コストパフォーマンスを、短期間の開発時間でお届け出来る所以です。 標準モデルにご満足頂けないお客様にも、改良版や新たな設計により、ご要望にお応え致します。

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