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オートアライメントシステム

量産ライン向け製造/検査装置への組み込みで長年の実績があります。
半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、スクリーン印刷機への組み込みに最適です。

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《特長》
●高速・高精細・高性能・低コスト
●デジタルカメラ入力 2ch~4ch USB入力
(解像度 VGA~UXGA対応)
●3軸同時制御( X,Y,θ/UVWステージ)
●カメラ、位置決めマークを選ばない

《機能》
1.アライメント
2.印刷ずれ自動測定
3.補正値フィードバック

《用途》
●スクリーン印刷機
●レーザーリペア装置
●露光装置
●TAB貼り付け装置
●ウェーハプローバ装置



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マークアライメント画面

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印刷後ずれ量計測画面